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2015年5月12日,由长三角集成电路设计与制造协同创新中心,上海微技术工业研究院,Coventor公司和复旦大学联合主办的“MEMS建模及制造工艺培训”在复旦大学邯郸校区逸夫科技楼成功举办。
来自高校、研究所、MEMS设计公司、晶圆代工厂、半导体设备厂商以及其他从事MEMS及相关技术研究的技术人员和项目管理人员等超过100名学员报名参加了此次培训。
MEMS技术是以硅材料为介质,建立在微米/纳米技术上的前沿技术。其设计除了需要考虑电信号特性外,机械特性的影响将直接决定产品的性能。因 此,MEMS对工艺控制有着极高的要求。如何在MEMS设计阶段充分利用建模仿真手段,充分验证设计的合理性和工艺的可实现性,提高器件性能并将可能出现 的问题在流片之前解决,成为了每个MEMS设计人员关心的话题。同时,在产品工艺开发时,又有哪些方法可以帮助设计人员更好的完成从设计到量产的工作步 骤,也是值得探讨的话题。
本次培训中,由知名MEMS设计软件公司——Coventor公司MEMS技术总监颜军博士,为学员们培训了“微机电系统自动化设计和工艺模拟”相关内容。
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由上海微技术工研院工程信息总监张文燕,为学员们进行了“MEMS检测分析与测试”相关培训。
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由上海矽睿科技有限公司技术研发部高级总监王宇翔,为学员们进行了题为“陀螺仪的工艺发现之旅”的精彩培训。
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本次培训请到多位业内资深专家,从MEMS建模, MEMS功能检测和测试以及工艺制造实例分享,多方位介绍MEMS设计方法,探讨当前各种MEMS器件主流技术的实现方式及性能。培训内容充实全面,不仅 开拓了学员们的视野,并通过案例分享、师生互动、学员探讨等方式加深了学员对核心问题的把握,提高了培训的效果。