2015年5月12日，由长三角集成电路设计与制造协同创新中心，上海微技术工业研究院，Coventor公司和复旦大学联合主办的“MEMS建模及制造工艺培训”在复旦大学邯郸校区逸夫科技楼成功举办。

    来自高校、研究所、MEMS设计公司、晶圆代工厂、半导体设备厂商以及其他从事MEMS及相关技术研究的技术人员和项目管理人员等超过100名学员报名参加了此次培训。

    MEMS技术是以硅材料为介质，建立在微米/纳米技术上的前沿技术。其设计除了需要考虑电信号特性外，机械特性的影响将直接决定产品的性能。因 此，MEMS对工艺控制有着极高的要求。如何在MEMS设计阶段充分利用建模仿真手段，充分验证设计的合理性和工艺的可实现性，提高器件性能并将可能出现 的问题在流片之前解决，成为了每个MEMS设计人员关心的话题。同时，在产品工艺开发时，又有哪些方法可以帮助设计人员更好的完成从设计到量产的工作步 骤，也是值得探讨的话题。

    本次培训中，由知名MEMS设计软件公司——Coventor公司MEMS技术总监颜军博士，为学员们培训了“微机电系统自动化设计和工艺模拟”相关内容。

    由上海微技术工研院工程信息总监张文燕，为学员们进行了“MEMS检测分析与测试”相关培训。

    由上海矽睿科技有限公司技术研发部高级总监王宇翔，为学员们进行了题为“陀螺仪的工艺发现之旅”的精彩培训。

    本次培训请到多位业内资深专家，从MEMS建模， MEMS功能检测和测试以及工艺制造实例分享，多方位介绍MEMS设计方法，探讨当前各种MEMS器件主流技术的实现方式及性能。培训内容充实全面，不仅 开拓了学员们的视野，并通过案例分享、师生互动、学员探讨等方式加深了学员对核心问题的把握，提高了培训的效果。