张卫

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张卫

发表时间：2014-05-19 阅读次数：415次

张卫：
　　中心常务副主任，
　　集成电路新器件工程部负责人
　　教授、博士生导师，复旦大学微电子学院副院长。现任国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项总体组专家、上海市科学技术预见专家、复旦-Novellus互连研究中心主任。曾为德国洪堡基金会洪堡学者。主要研究方向是集成电路工艺、微细加工技术和半导体器件。2002年获得教育部科技进步二等奖，2004年获教育部新世纪优秀人才称号，2013年获批教育部创新团队。